电子气

918博天堂近几年来持续加大电子气体投入，于2018年成为“集成电路材料产业技术创新战略联盟”成员。凭借丰富的配气经验，先进的分析能力（CNAS认证实验室）和严谨的管理体系，不断开发满足客户需求的气体产品，形成了以混合气为主，特殊化学气体及高纯气为辅的产品线，相关产品已经应用于LED、IC、光伏等行业。

气体组分	含量	阀门	充装压力
PH3/H2	ppm级 %含量	DISS632/CGA350	10MPa
PH3/N2	ppm级 %含量	DISS632/CGA350	10MPa
PH3/He	ppm级 %含量	DISS632/CGA350	10MPa
SiH4/H2	ppm级 %含量	DISS632/CGA350	10MPa
SiH4/N2	ppm级 %含量	DISS632/CGA350	10MPa
B2H6/H2	ppm级	DISS632/CGA350	10MPa
30%O2/He		DISS714	12MPa
20%O2/Ar		DISS714	10MPa
3%H2/Ar		DISS724	10MPa
15%O2/Ar		DISS714	10MPa
0.5%O2/He		DISS714	12MPa
1.2%He/N2		DISS714	12MPa
F2/Kr/Ne	%含量	CGA679/DISS728	13.8MPa
F2/Ar/Ne	%含量	CGA679/DISS728	13.8MPa
Kr/Ne	%含量	CGA580/DISS718	13.8MPa
Ar/Xe/Ne	%含量	CGA580/DISS718	13.8MPa
4%H2/N2		DISS718	12MPa
2.7%C2H4/He		JISS22-14OR	12MPa
99.9% NO		JISS22-14-OR	3.5MPa